LDW 350/500 直写光刻机
该设备基于先进的DMD数字光刻技术，采用高精度的精密运动系统、光学系统、微环境控制系统，同时具备实时聚焦、自动居中对位等功能。
产品特点
01
最小线宽线距:
350nm
01
套刻精度：
±150nm
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